Това е само предварителен преглед!
Технологични схеми и процеси в микроелектрониката
Основна суровина за производство на ИС е Si. Той не се среща в чист вид в природата. Кварцовият пясък съдържа 40 – 80%. При първия етап от производството се отделя флотационно от примесите...